实验/教学型光刻机

主要构成
主要由高精度对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、曝 光头、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、防震工作台和附件箱等组成。

主要功能特点
·适用范围广
适用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光
·结构先进
具有气浮式找平机构和可实现真空硬接触、软接触、微力接触的真空密着机构；
具有真空掩膜版架、真空片吸盘
·操作简便
采用翻板方式取片、放片；按钮、按键方式操作，可实现真空 吸版、吸片、吸浮球、吸扫描锁等功能，操作、调试、维护、修理 都非常简便
·可靠性高
采用进口电磁阀、按钮、定时器；采用独特的气动系统、真空管路系统和精密的机械零件，使本机具有非常高的可靠性
·特设“碎片”处理功能