产线级F型涂胶显影机-TDF1200/800

产品特色
·高产能机型、最高配置8spin、标准配置3Cot&5Dev
·适用于规模量产，可以与光刻机inline
·晶圆加工规格8英寸或12英寸产品
·匹配多种光刻工艺KrF、i-line
·设备包括EFEM、Cot&Dev、Oven、Interface
·模块化、灵活配置
·模块化的单元便于维护（快修&快换）
·图形化的人机交互界面
·高产能300-320WPH，8英寸标准涂胶工艺