产线级C型涂胶显影机-TDC1200/800

产品特色
·适用量产、工艺测试
·晶圆加工规格4英寸、6英寸、8英寸、12英寸
·机台配置2Cot、2Dev、ICot&IDev机台
·适用前道工艺、晶圆级封装、MEMS和LED等
·模块化设计，客户可根据需求定制单元模块
·图形化的人机交互界面
·占地小、操作简单维护方便
·高产能80WPH，相比传统机型产能提升10%以上（8英寸标准工艺）