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半导体光刻/MEMS
/ 3D光学轮廓仪
3D光学轮廓仪
低成本-高精度
Filmetrics 让光学轮廓测量价格更为实惠. Profilm3D 使用了先进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量.使得表面形貌研究进入次纳米等级。
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半导体光刻/MEMS
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