进口LAURELL匀胶旋涂仪WS-650

LAURELL WS-650系列旋转涂膜仪自1985年起，向遍布全球的生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案。目前，全世界有超过12000套系统正在安全运行。
匀胶机材质选用NPP天然聚丙烯材质或特氟龙材质，抗腐蚀性和抗化学物性和抗有机溶剂效果显著。高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。
分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证，无需校准。

产品特色

·最强动力加速度：80000RPM/S（空载），30000RPM/S
（负载参考：100mm直径标准晶圆片，标准真空托盘）
·双向旋转选项：正反旋转速度范围：1~12000RPM
·直流驱动马达（超过10年的使用历史）
·超长使用寿命，自2007年至今性能良好 24小时x7天的连 续不间断运行测试；伺服电极分辨率：可达4000p/rev
·速度精度：0.0RPM 可重复精度：0.0RPM
·获得NIST认证