实验型柜式匀胶烤胶一体机/半自动显影机

产品简介

本手动匀胶烤胶/显定影机一体机主要功能:包括基片匀胶/显影、烤胶/定影、排风、黄光照明等功能,该设备一体化集成,可以对 8 英寸圆片(兼容 6 英寸圆片)基片加工,具备高转速、高稳定性、良好的温度均匀性和精度控制等性能。

技术特点

本设备控制系统主要由 PLC 、触摸屏构成,运行故障率低,可靠性高,操作简单, 易于维护;匀胶/显定影主轴使用伺服电机,数字显示及设定,精确控制转速,匀胶/显影及烤胶具备自动顶升装置,烘烤可以根据需求自由设定高度。

技术参数

作业模式                          基片放置、搬运、取出为手动方式,匀胶及烘烤显影启动为手动启动自动运行

加工基片                          8 英寸圆形基片(兼容 6 英寸圆形基片)

涂胶程序及储存             可设置 10组、 每组 50 步骤程序;程序可保存、调用、修改、删除

每步长最小时间             0.1s

操作面板                          触屏操作+按键

电机                                  松下 A6 系列高速伺服电机及驱动器

转速范围                          20 -5000rpm

加速度范围                     250 -20000rpm/s

转速精度                         ≤±1rpm (50~5000rpm)

转速分辨率                      1rpm

机身外壳材质                 不锈钢/镜面/PP材质可选

匀胶腔/显定影腔材质    PP  材质

显影臂                              3路管路(1 路正胶显影、1 路负胶显影、1 路 NMP),配备扇形和柱状喷嘴,流量可调(调整液体压力),喷嘴无氮气加压;供液方式:18L压力罐*3,带                                                液位检测;压力罐放置液柜内;

定影臂                               3路管路(1 路 DIW,1 路负胶清洗液、1 路氮气),柱状喷嘴,直径4mm(内径),流量可调(调整液体压力),无氮气加压;供液方式:负胶清洗液 18L 压                                              力罐,带液位检测;压力罐放置液柜内;其他为厂务直供

背洗装置(可选)          匀胶模块和显定影模块均可选配,带有流量计以及液位检测装置

真空托盘材质                   聚四氟乙烯

真空托盘规格                   根据客户需求定制

定中装置                            配备定中装置,自动定中

控制系统                           专用操作软件,终生免费升级