纳米压印机

CNI系列压印机（UV & 热压）

产品介绍

专为实验室开发，即插即用，能低成本高效地实现高精度的纳米热压工艺。它兼具热压印和紫外压印两种功能，可以快速的实现真空环境下的压印。它可以处理各种不同形状、格式以及直达100mm（4英寸）的模板和基片。只需手动装入和取出模板和基片，其余操作都是自动化进行，同时附带软件还提供了详细的参数设置，让客户对压印过程实行全面的操控。

产品特点

·热压印（温度达240℃）和 紫外压印（365nm）两种功能
·真空压印（1mbar）
·即插即用，纤细轻巧，实验设计、记录、分析的好帮手

EZI-UV NIL微加工压印机

产品介绍

EZImprinting是一款具有超高良品产率（> 99％），带有一步自动脱模制式（ONE-STEP AUTO RELEASE）特色的纳米压印光刻平台，可精确运作和处理的10纳米以内的图形。

产品特点

·可处理10nm尺寸内的图形，99%的良品率
·全晶圆压印，6英寸(NTP-600) ，4英寸（NTP-400）
·一步自动脱模（ONE STEP AUTO-RELEASE）技术，避免基板和模板损伤
·PLC可编程式软件和触控界面
·可配合软硬模板 ，适合不同大小基板和模板