桌上型湿法显影刻蚀设备

产品简介

白色聚丙烯构造，可内置任何Laurell公司的旋涂机及显影机，排放简便的入氮口和DI喷头，如果需要单工的系统，可选择WS-1000M湿法刻蚀设备，WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。

设备功能

·涂敷Coating
·刻蚀Etching
·显影Developing – Aqueous / Solvent
· 清洗Cleaning-Aqueous / Solvent
·可选配, Sulfuric硫化物 / Peroxide双氧水，溶液处理(insitu mixing)
·可选配, Hbr溶液处理
·带温控的显影功能
·冲洗甩干

设备特点

·全PP材质构造
·可集成Laurell匀胶旋涂系统
·有排孔的湿站操作台 (易清洁)
·特殊设计的湿站压力系统Wet plenum
·带流量计的排液管道
·各类组件的隔离设计（散热原件，泵浦和压力容器等）

·可以根据应用选择更高级的材料；
·WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分
类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。
·WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合Z严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性
自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和zui小毒副产品的检测标准。