半自动/全自动喷胶机-TDS1200/800

产品特色
·适用于4、6、8或12英寸晶圆及方片，特殊形状可定制
·适应于光刻胶粘度≤50cps，正性或负性光刻胶
·流量≤0.25ml/秒for50cps，粘度≤10cps时喷嘴理论流量达到最大值
·主要固态颗粒物浓度上限位≤40%
·主要固态科颗粒直径≤0.1倍平均雾化颗粒直径
·自动机械臂喷涂、自动旋转烤盘、自动后烘烤搬运
·不间断无脉动连续供胶pump
·手动上下多片卡具或Robot自动标准晶圆上下片
·模块化的单元便于维护
·图形化的人机交互界面